外部压电阀的精确控制,满量程(TEOS等效值)为6.4 g\/min,此热液流量控制器(LFC)设计用于MSP‘PE’系列涡轮汽化器。U201A系列压电式液体流量控制阀由U201A系列的液体流量传感器和温度传感器组成。2940的特点是响应时间快,这使得它是在ALD或短脉冲CVD中经常使用的短时间蒸汽脉冲的好选择。2940具有分区‘PID’设置和改进控制的自学习功能。,型号2940液体流量控制器FC2全刻度TEOS Equiv(g\/min)32全刻度去离子水(g\/min)5.0耐压(bar)1最大压降(mbar)1柱内径(mm)1.8电源@24V(W)48端口连接器1\/8英寸外螺纹VCR配件工作温度(ºC)0–50工作湿度(%)20–80非冷凝材料石英玻璃\/PEEK\/SS316\/Viton\/Silicon RTV尺寸(mm\/inches)127 x 152 x 25\/5 x 6 x 1重量(kg\/lb)0.45\/1.0最佳存储温度(ºC)-10–60安装槽四个0.15英寸宽的插槽在4.75英寸x 0.75英寸模式上通信引脚输入功能1+24V2设定点(0–5V)3监视器(0–5V)4 RXD5 TXD6,7,8,9接地
采用MEMS技术的紧凑型智能传感器,用于精确的质量气流和LNG测量。高精度单向质量气流。全尺寸稳定输出。低功耗。接头形式:外径竹。最小7.4mm,最大8.6mm,通道直径4mm。除了619-1859是一个RC 1/4螺钉。提供电缆,100mm长。应用范围包括选择和放置系统、工业过程、氧气浓缩器/储油器、泄漏检测、光谱检查、质量流量控制器、科学/测试设备,燃料电池控制最大流量=0-2 L \/min电气连接=电缆控制输出=模拟安装样式=紧凑型供电电压=10.8-26.4 V直流电最低工作温度=-10°C最大工作温度=+60°CCAD绘图=三维CAD模型