setra西特730系列电容式膜片真空计
Setra 的 730 型是一款高精度的电容式压力计（亦称电容式膜片真空计 (CDG)），适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精度达 ±0.5%，分辨率高，优于同类产品。 730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计，它能精确测量介质，不受应用中气体混合物成分的影响。应用·半导体处理室·石化·等离子体灭菌器·真空包装，军工领域，
730G020TAN22CT1K 730G10CTAD42CD9A 730G010TAD42CD9A 730G010TAN12CT1A 730G10CTAD42CD7A 730G010TAN12CD7A、730G020TAN22CD9A 730G-001K-A2M-2B-D9-A 730G10CTAN12CD7A
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特性
·高精度：±0.5% 读数·张紧的膜片保证优异的性能·工作温度补偿范围宽·回路噪声低，响应快·不易受环境条件变化影响·出色的抗过压设计·符合 CE 和 RoHS 规范、
■ 耐化学品的 InconelTM 设计■ 精确的低真空测量■ 专用压力接头适合苛刻应用的高性能产品
采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。
Inconel® 设计保证通用性
所有接液部件均采用 Inconel TM 材料，因此对半导体和工业真空过程中的腐蚀性介质具有极高的耐受性。Inconel TM 材 料 结 合 全 焊 接 结 构， 确 保 730 型 在 这 类应用中的长使用寿命。
直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业电容式压力计不同， 730 型测量直接压力，不受被测混合气的影响，这使其精度优于间接测量型压力计。