11月15日深圳市智能传感器产业联盟日前在深圳市光明区成立，总规模50亿元的智能传感器产业基金也将落地。40家产业基金、重大平台、重点项目与光明区签署合作协议，将共同推进“深圳市智能传感器中试熟化与产业化示范区”“粤港澳大湾区智能传感器产业集聚发展的先锋区”“全球智能传感器核心技术的重要策源地”建设。
据相关负责人介绍，设立智能传感器产业基金旨在对总投资不低于1亿元的新建设智能传感器晶圆生产线的企业，按经评审核定的项目固定资产实际投资额的20%予以资助，单个项目资助金额最高可达5000万元。
深圳市光明区有良好的产学研制基础和产业需求支撑，聚集了诺安环境、纽迪瑞科技、森世泰科技、美思先端4家规上工业企业，培育了欧菲光（002456）、信泰光学等龙头企业。2021年，光明区智能传感器产业实现工业产值约7亿元。
值得关注的是，光明区还宣布将规划建设一条总投资15.33亿元、产能达3000片的8吋MEMS中试线。该项目具备热电堆、MEMS压力、MEMS麦克风、MEMS惯性传感、微流控和微振镜等工艺平台，可以帮助相关中小企业实现从MEMS工艺研发、中试到小规模量产的无缝对接。同时，对利用光明区MEMS中试平台流片的企业，产业基金将按首次流片费用的60%，给予每家企业每年最高600万元的资助。
据了解，当前，光明区正依托鹏城实验室、中科院深圳先进院等科研机构，打造了异质异构硅基光子芯片工艺平台、高端科研仪器研究中心等创新平台，为企业突破光电子芯片技术瓶颈提供关键支撑。
下一步，光明区将聚焦智能传感器设计、制造等环节，加快核心智能传感器、特色工艺、先进封装技术、关键材料等领域攻关，争取到2025年产值突破100亿元，占深圳市总规模的25%左右。