加速度传感器（G-sensor）是一种能够感知加速度大小的MEMS传感器。它也被称为重力传感器或加速度传感器。它的工作原理是通过一个模型来实现的，该模型由一个质量块和两个弹簧组成，质量块通过弹簧固定在两端。在没有加速度的情况下，弹簧不会发生形变，质量块保持静止。当有加速度产生时，弹簧会发生形变，质量块的位置会发生变化。弹簧的形变量随着加速度的增大而增大。在已知弹簧劲度系数k和质量块质量m的情况下，只需要测量弹簧的形变量，就可以计算出系统的加速度。
G-sensor内部有finger sets，用来测量质量块位移产生的加速度。每个finger set相当于两个电容极板，当有加速度时，质量块会相对运动，位移的变化会导致差分电容的变化。具体的差分电容检测和计算加速度的过程由G-sensor内部完成，我们只需要直接读取其转化后的值即可。G-sensor的输出值并不是直接的加速度值，它的计量单位通常用g表示，1g代表一个重力加速度，即9.8m/s²。1g等于1000mg。这里举个例子再次强调一下G-sensor的输出值是根据其内部质量块的位移计算得到的：将G-sensor的Z轴垂直向地面，静止放置在水平桌面上，此时G-sensor芯片是静止的，虽然整体加速度为0g，但是读取其输出值，X/Y轴输出为0g，Z轴输出为1g。这是因为内部质量块在重力加速度的作用下产生了位移。
G-sensor的重要参数有测量范围、灵敏度、0g偏移、输出速率和工作模式。测量范围表示传感器可以支持的输出加速度范围，通常用±g表示。灵敏度表示传感器输出随加速度变化的比例，通常使用LSB/g或mg/LSB表示。0g偏移表示在没有加速度时输出的测量值，模拟输出的传感器通常使用伏特或毫伏表示，数字输出的传感器使用码字表示。输出速率（ODR）表示G-sensor的输出数据刷新频率，ODR越高，输出数据更新越快，功耗也越高。G-sensor的ODR通常是可以配置的。工作模式包括马达驱动部分和加速度计感测电路部分，通过静电引动方法和科里奥利效应来实现。
陀螺仪传感器的工作原理与加速度计类似，它基于科里奥利效应所产生的科里奥利力而设计。陀螺仪的核心是一个微加工机械单元，通过静电引动方法产生共振运动，为机械元件提供激励。科里奥利力将角速度转换成感测结构的位移，通过测量位移产生的电容变化来测量陀螺仪的角速度和角加速度。