三氟化氮（nitrogen trifluoride）化学式NF₃，在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

当我们在想方设法降低二氧化碳等温室气体的排放时、当我们在享受信息时代的便利和喜悦时,新的公害又出现了,这就是温室气体的新成员——三氟化氮。如今,手机正在变得越来越小,电视也变得越来越薄。在此过程中,被誉为气体“刻刀”的特种气体——高纯度三氟化氮立下了汗马功劳。不过,凡事都有两面性,电子行业的功臣三氟化氮就被环保科学家认为是一种新的公害。科学家表示,三氟化氮可能是温室气体家族中的一条漏网之鱼,应列入《京都议定书》或者后续气候协议所规定的温室气体中,并严加监管。

深国安推出一款智能型三氟化氮气体传感器模组SGA-700系列产品可以很好的监管温室气体的排放，产品采用国外原装进口芯片，确保产品的精度和稳定性；体积小、价格更低、性能更加优良稳定；有扩散和泵吸式采样方式可选；可有效识别PPB级的目标气体浓度；客户购买后，无需任何操作，无需再次标定，可直接采集处理后的标准信号RS485、0-5V之间任意电压和TTL数字信号，上传到PLC、DCS、DDC、数据采集仪等上位机系统；SGA-700系列内置四电极高精度气体传感器，非常适合空气质量、园区厂界、网格化环境监测等场所使用。产品广泛应用于科研实验室、数据采集、气体监测、过程化控制、物联网、无人机、工业机器人、网格化大气环境监测仪、微型空气质量监测站、恶臭在线监测、有毒气体检测等领域。

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