它涉及电子、机械、材料、物理、化学、生物、医学等学科和技术,具有广阔的应用前景。截至2010年,全球约有600家单位从事MEMS的研发和生产,已开发出包括微压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器等数百种产品。其中,MEMS传感器占有相当大的比例。 MEMS传感器是利用微电子和微机械技术制造的新型传感器。与传统传感器相比,具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适合批量生产、易于集成和智能化等特点。同时,微米量级的特征尺寸使其能够完成传统机械传感器无法实现的某些功能。
我们统计了国内外MEMS传感器厂商:
华芯半导体:华芯半导体成立于2004年,是一家专注于MEMS传感器和半导体器件研发、制造和销售的公司。其产品涵盖汽车电子、智能手机、医疗设备、物联网等多个领域。华芯半导体也是国内最早的MEMS芯片制造商之一。士兰科技:士兰科技成立于2007年,是一家专业从事MEMS惯性传感器、环境传感器、磁传感器研发、制造和销售的公司。其产品广泛应用于智能家居、汽车电子、工业自动化等领域。深圳智锐微电子:深圳智锐微电子成立于2007年,在MEMS传感器和微纳系统领域拥有较为深厚的技术积累。其产品主要应用于智能手机、消费电子、工业自动化等领域。歌尔微电子:成立于2017年,是我国MEMS传感器龙头企业歌尔股份的子公司。 2019年,歌尔股份启动分拆流程,将所有MEMS相关业务分拆至歌尔微电子。歌尔微电子更名为歌尔微电子。是歌尔体系内唯一从事MEMS微电子相关业务的实体,继承了歌尔在MEMS领域的市场地位。歌尔微电子(Goertek)连续多年位列“中国MEMS十强企业”榜单第一名。据知名半导体市场咨询机构Yole Development发布的《MEMS产业现状报告》显示,从2019年开始,歌尔股份(Goertek)连续跻身全球MEMS厂商前10名,也是全球MEMS厂商中排名前10位的厂商。唯一进入前十名的中国企业。在MEMS声学传感器(麦克风)领域,歌尔微电子2020年超越楼氏电子成为行业第一,市场占有率位居全球同行业第一。这是楼氏电子15 年来首次失去MEMS 麦克风的主导地位。美泰科技是中国电子科技集团第十三研究院的全资子公司,也是中国MEMS行业协会理事长单位。致力于MEMS(微机电系统)器件和系统的研发、生产和销售。连续多年荣获“中国半导体MEMS十强企业”称号。是国内最大的MEMS核心芯片、器件和系统产品供应商,也是中国MEMS技术的领导者。美泰科技拥有自己的MEMS传感器芯片生产线,是一家IDM公司。 2015年,中国电子技术研究院的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及其在高性能MEMS器件中的应用”通过了科技部组织的专家验收,应用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS 针对光开关、VOA、压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工,美泰科技6英寸生产线月产能已达10000片。德州仪器:德州仪器是全球领先的模拟IC、数字信号处理器和嵌入式处理器制造商之一,也是MEMS芯片领域的知名公司。其产品主要涵盖惯性传感器、环境传感器和声学传感器。意法半导体:意法半导体是全球领先的半导体制造商之一。其MEMS芯片产品主要包括加速度传感器、陀螺仪、惯性导航系统和环境传感器。其领域包括智能手机、电子手表、智能家居和汽车电子。恩智浦提供基于微机电系统(MEMS) 的差异化加速度计产品组合,以满足汽车、医疗保健和工业领域不断增长的需求。我们的加速度计处于行业前沿,引领计量与节能、定量健康、安全与监控、可穿戴设备、家居便利等新兴应用。