皮拉尼真空规管的应用

2023-09-12
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真空规管就是测量真空度的传感器;原理:测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理显示出被测真空环境的真空度;用途:主要应用于真空环境的真空度测量领域,如真空镀膜,太阳能集热管制作,真空冶炼等。

皮拉尼式是电阻规管,目前电阻规型号主要是PVC6000系列,主要以用于粗低真空测量。

这一颗传感器元件是基于博思发的第二代MEMS 热导率芯片设计而成。热导率芯片的工作原理是:真空度越高,气体的热导率越差,热导率传感器的热损失越少。放大电路将传感器芯片的微小信号放大,然后再微处理器中数字化,然后通过 I2C 通讯将传感器的测量值对外输出。由于热导率在测量真空时会受到温度的干扰,所以我们在电路中加入了温度传感器,微处理器获得了温度数据之后,利用专门的温度补偿算法,修正了环境温度对传感器的干扰。为了防止在热导率芯片自加热时产生信号漂移,我们在微处理器中加入了中断功能,确保传感器芯片每次工作(自加热)的时间不超过 100毫秒。

PVC6000 系列传感器的输出信号经过标定。对外输出标准的工业信号,如 0~10V,4~20mA,RS485 或者其他标准工业信号。标定后的输出值,可以达到 10~20%的精度,普遍高于行业内其他真空变送器的精度。

传感专家

PVC6000 系列变送器还有显示表可选。就地显示真空数值,便于使用者直观了解真空设备的工作情况。

 量程:0.3~760,000mTorr(0.04Pa~100kPa)

 响应时间:小于 1.2 秒

 功耗低,可以电池供电

 经过温度补偿

 中断功能确保高真空环境中没有数据漂移

 分段线性化算法和 I2C 通讯,便于标定

 抗污染,耐水汽,油雾和灰尘的侵蚀

PVC6100 系列的一个重要特点就是可以更 换真空探头。这个探头中装有感测元件和处理电路,并且经过专门标定。如果 PVC6100 系列产 品被应用到高浓度污染物环境中时,定期更换探头可以未客户节省大量时间成本和系统维护成本。

特点:

Ø 量程:10-4Torr~大气压(1.3x10-4mbar~大气压)

Ø 良好的精度和重复性

Ø 可调整输出曲线,做到即插即用

Ø 由于工作温度低而更耐污染

Ø 经过温度补偿

Ø 可以更换探头,降低使用成本

应用:

Ø 冻干机

Ø 质谱仪

Ø 蒸馏设备

Ø 低温储气瓶、储气罐

Ø 热处理/真空炉

Ø 采样室真空系统

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