据“德州发布”公众号消息，10月16日，山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目在德州天衢新区举行通线仪式，这是全山东省省首条12英寸集成电路用大硅片生产线，目前可实现月产能10万片。
据悉，该项目是国内半导体材料龙头企业中国有研布局的重点项目，总投资62亿元，主要从事12英寸集成电路用大硅片产业化的生产，其中一期投资25亿元。全部达产后将形成360万片/年大硅片的生产规模，彻底改变我国依赖进口的局面。
据山东有研艾斯总经理闫志瑞介绍，12英寸硅片的生产对洁净环境要求极高，需要经过有线切割、倒角、研磨等40至50道工序，并且对平整度要求极高。历经3年技术研发，山东有研艾斯攻克了单晶微缺陷、硅片几何尺寸、硅片表面沾污等关键技术指标，目前已在国内外多家知名集成电路制造企业开展产品验证。