MEMS热式质量流量传感器是一种基于微电子机械系统（MEMS）技术的流量测量设备，利用热传感器测量流体的质量流量。其工作原理是基于热传导效应和流体流经热敏电阻引起的温度变化。
热式质量流量传感器通常由两个热敏电阻组成，一个作为加热电阻，另一个作为测量电阻。当流体通过EPM3128ATI100-10N传感器时，加热电阻会发出一定的热量，流体的质量流量会冷却测量电阻，从而改变测量电阻的电阻值。通过测量电阻的电阻值变化，可以推导出流体的质量流量。
MEMS热式质量流量传感器具有以下优点：
1、高精度：由于采用了微型化的热敏电阻，传感器具有较高的灵敏度和响应速度，可以实现高精度的质量流量测量。
2、小型化：MEMS技术的应用使传感器的尺寸大大缩小，可以方便地集成到各种流体系统中，适用于微型流体流量测量。
3、快速响应：由于热敏电阻的快速响应特性，传感器可以实时监测流体的质量流量变化，适用于需要快速响应的应用场景。
4、低功耗：传感器的功耗较低，适用于需要长期稳定工作的应用。
MEMS热式质量流量传感器的应用广泛，包括但不限于以下几个方面：
1、工业流量测量：MEMS热式质量流量传感器可以用于工业流体的质量流量测量，如石油化工、制药、食品加工等领域。
2、汽车行业：传感器可以用于汽车燃油流量测量，实时监测车辆燃油消耗，并提供相关的燃油经济性分析。
3、空气质量监测：传感器可以用于空气质量监测，如室内空气质量、大气污染等领域。
4、医疗设备：传感器可以用于医疗设备中的流体流量测量，如呼吸机、输液设备等。
5、环境监测：传感器可以用于环境监测中的水流量测量，如河流、湖泊水量监测等。
总之，MEMS热式质量流量传感器是一种高精度、小型化、快速响应的流量测量设备，具有广泛的应用前景。随着MEMS技术的不断发展和成熟，传感器的性能将进一步提升，应用领域将更加广泛。