增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目搬入首台设备

“据悉，本次搬入设备是由中微半导体设备（上海）有限公司制造的Primo D-RIE®刻蚀设备反应台，也是增芯12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线项目搬入的首台生产设备，运用了中微具有自主知识产权的创新技术，是国际主流芯片生产线上必不可少的设备。

据增芯科技官微消息，12月28日，广州增芯科技有限公司举行首台生产设备搬入仪式。

据悉，本次搬入设备是由中微半导体设备（上海）有限公司制造的Primo D-RIE®刻蚀设备反应台，也是增芯12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线项目搬入的首台生产设备，运用了中微具有自主知识产权的创新技术，是国际主流芯片生产线上必不可少的设备。该设备的搬入，是继项目“920封顶”以来的重要交付，标志着增芯项目一期工程土建和机电安装已经完工，项目由建设期正式转入运营前的生产准备阶段。

此前消息显示，该项目占地面积达370亩，分两期建设。根据规划，增芯项目将建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线，预计2024年6月通线。