3月6日上午,光明区工信局、深圳市智能传感产业协会联合组织的MEMS中试线企业需求研讨会在光明公共服务平台举行。速腾聚创、汉威科技、美思先锋、海谱纳米、南科大、格子感知、国微感知、戴维莱、比特原子、天陆海、智芯微纳、万感科技等10多家MEMS相关企事业单位负责人参加了会议。
MEMS(微机电系统)是一种集微电子技术和机械工程于一体的工业技术。通过半导体制造等微纳加工手段,形成具有微纳米量级特征尺度的机械结构系统装置。
MEMS工艺与传统IC工艺有许多相似之处。MEMS借鉴了光刻、薄膜沉积、掺杂、蚀刻、化学机械抛光等IC工艺。传统的IC工艺无法实现毫米甚至纳米的加工工艺,必须依靠微加工和精细加工,才能达到预期的结构和功能。
与一般集成电路芯片相比,(IC),MEMS制造工艺不追求先进的工艺,而是更注重功能特性,即利用微纳结构或/和敏感材料实现各种传感和执行功能。工艺节点通常从500nm到110nm不限于硅,还包括玻璃、聚合物、金属等。
会上,与会代表听取了光明区智能传感器产业的发展情况,探讨了如何通过MEMS生产线建设促进智能传感器产业的发展。企业表示,由于MEMS传感器具有产品和加工工艺的特点,对运营团队的专业性、设备工艺的兼容性、服务的及时性和合作性、如何满足更多种类的工艺特点、知识产权的保护等也有不同的需求。
企业表示,部分工艺可以通过6英寸线或实验线完成,然后进入8英寸线,从而提高产量和开发进度的效率,节省部分成本。在模式方面,你也可以考虑让一些有能力的企业参与运营,或者适当地打开一些空间,为企业放置自己的设备来完成前一个过程。
目前,由于建设投资大、专业性高,MEMS传感器研发中试平台已成为共同需求,企业自身的技术储备和专业能力也有所不同。与会企业表示希望做一些定期的培训,共同做标准设备、标准流程等标准,将自己的know-how放入PDK,不断填充PDK,共同开发会提高效率。