3月11日，广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆生产线项目（以下简称“增芯项目”）在广州增城开发区举行，标志着增芯项目顺利进入调试生产准备阶段。据了解，该项目预计将于今年6月完成第一批设备安装，并于今年12月底完成第一批产品的离线。
记者从现场了解到，增芯项目一期计划投资370亿元。自2022年底开工以来，仅9个月零6天就完成了从桩基到主厂的封顶建设，实现了“开工一年装机”。广州增芯科技有限公司总经理张亮表示：“这一次，我们看到光刻机进入工厂，这表明它离我们的正式生产线不远了。”。
“光刻机是晶圆制造中最关键的核心设备。我们计划引进多台光刻机，资金投入占整个工厂建设的25%。“肖恩介绍，光刻作为集成电路制造的关键工艺，利用光化学反应原理将制备在掩模板上的图形转移到晶圆表面，然后在晶圆上蚀刻形成图形。”这台光刻机的速度非常快，对提高我们的整体生产效率和稳定性起着非常关键的作用。”。
下一个核心项目的关键节点是什么？”在今年的线路生产过程中，我们还将经历产品利率的提高、产能的攀升等关键步骤。未来，我们希望在增城建设月产12万片的产能，更好地辐射广东、香港、澳门大湾地区对整个集成电路芯片的需求。”张梁强调，目前国内设备在核心增长一期项目中的使用率超过35%，希望在二期生产中达到一半以上。
值得注意的是，在广东建设国家集成电路产业发展“第三极”的过程中，增城区正在加快建设以“核心显示车”为主导的现代产业体系。在培育和发展集成电路产业方面，已经布局了一批规模大、能源水平高、驱动力强的骨干项目，涵盖了集成电路“四梁八柱”的制造、密封测试、设备、材料和平台。
文、图 ｜ 记者 许张超