芯东西(微信官方账号:aichip001) 作者 |  ZeR0编辑 |  漠影 芯东西3月8日报道，最近英特尔芯片制造业务有所改善，状态可以说是自豪的，喜欢眉毛，一个主要原因是世界上第一个价值近4亿美元的高-NA EUV光刻机已进入英特尔工厂。 为此，英特尔本周分享了历史上最大的拆箱视频，并兴奋地与世界分享了这一重大好消息。 //oss.zhidx.com/uploads2024/03/65e85a70d060d_65e85a70c492_65e85a70c48f4Intel-Receives-ASMLs-First-High-NA-EUV-system_1080p.mp4 这已经不是英特尔第一次高调“炫富”了。今年1月，第一个High-NA 当EUV光刻机的主要部件到达时，英特尔晒照并宣布：“这是新年的最佳开始。” 为什么这么激动？简而言之，High-NA EUV光刻机对生产3nm和更先进工艺的芯片起着重要作用，可以大大降低先进工艺芯片的复杂性，提高产量，降低成本。只有荷兰光刻机霸主ASML才能制造出这种先进的设备，而且产量极低。 世界领先的逻辑芯片和存储芯片制造商，如台积电、三星、英特尔和SK海力士，为了带头和获得更多最先进的ASML光刻机而战。 特别是英特尔正在大胆发展OEM业务，目标是在2025年通过Intel 18A(相当于1.88nm）工艺节点重新获得工艺领先地位，成为世界第二大芯片OEM（即赶超三星），率先获得最先进的芯片光刻技术，有利于吸引更多客户。 英特尔期待这台机器已久，早在2018年就订购了ASML试点TWINSCAN EXE:5000光刻机。因此，文章开头提到的英特尔隆重分享了High-NA光刻机TWINSCAN EXE:5200到达工厂这个里程碑事件的材料，只是敲锣打鼓，放鞭炮奔跑。 TWINSCAN EXE:5200具有0.55高值孔径和每小时200多片晶圆的生产率，体积庞大，有3层楼高。运输容量13个卡车容量集装箱和250个板条箱，重量约33万磅。 视频显示，一架货机将集装箱从荷兰运输到俄勒冈州波特兰，然后由一辆卡车运输设备的关键部件。 卡车一路把机器运到英特尔工厂。 在工厂等了很久的工程师马不停蹄地开装。 ASML和英特尔工程师大约需要6个月的时间才能完全安装这台机器。安装后，工程师需要几周甚至几个月的时间来校准机器。 High-NA 与目前单次曝光分辨率仅为13nm的EUV光刻机相比，EUV光刻机可以以8nm分辨率输出光刻结果，这显然是一个巨大的进步。 根据计划，英特尔将首先通过其Intel 18A测试High-NA 使用EUV光刻机，将于2025年部署商用级Twinscan EXE:5200设备用于大批量生产Intel 14A(相当于1.44nm）工艺技术。 ASML此前宣布下一代High-NA EUV光刻机的价格将是目前的低点-NA EUV光刻机是3.8亿美元的两倍多。然而，确切的价格取决于设备的实际配置。英特尔首席执行官帕特·基辛格最近透露，该机器的成本约为“4亿美元”。 相比之下，现有的Low-NA Twinscan NXE EUV系统的售价约为1.8亿美元。 ASML于2022年宣布，2027~2028年每年生产20台Highh-NA EUV光刻设备。该公司今年早些时候也透露了它的高度-NA EUV光刻机累计订单数已达到两位数。