2018年，特斯拉在Model 碳化硅设备是第一个使用碳化硅设备的设备。从那时起，碳化硅开始进入发展的快车道。到目前为止，碳化硅正在影响8英寸的“龙门”，而设备端作为碳化硅降低成本和提高效率的一部分，可以帮助碳化硅飞得更高。因此，相关设备制造商继续努力满足产业链对设备的要求。近日，连城数控宣布投资项目10.5亿元。 10.5亿扩大长晶设备产能 连城数控于1月10日宣布，公司及其全资子公司连科半导体计划与无锡市锡山区锡北镇人民政府签署《锡山区工业项目投资协议》，计划在无锡投资建设“第三代半导体设备研发制造项目”。现在，这个计划已经取得了新的进展。根据连城数控发布的公告，3月22日，协议各方正式完成了《第三代半导体设备研发制造项目投资协议》的全部签署。协议签订后，协议各方将按照协议积极推进项目投资。 根据之前的公告，“第三代半导体设备研发制造项目”计划投资不超过10.5亿元，规划建设大型半导体硅片长晶体和加工设备、碳化硅长晶体和加工设备的研发、生产和制造基地。据了解，连城数控主要从事光伏和半导体行业，是提供晶体材料生长、加工设备、核心技术等业务支持的综合服务提供商。  source：连城数控 其中，在碳化硅方面，连城数控于2020年底开始研发碳化硅晶体生长炉，2021年9月开始研发碳化硅等超硬材料多线切割机。2023年上半年，连城数控取得了创新推出单晶炉设备“一键拉晶”系统、液相法碳化硅长晶炉成功下线、客户数量订单、碳化硅立式感应合成炉科研成果通过专家组鉴定等多项技术研发成果。随着“第三代半导体设备研发制造项目”的实施，连城数控将扩大碳化硅设备的生产能力，提高企业在第三代半导体领域的综合竞争力。 在绩效方面，连城数控在2023年绩效快报中指出，由于全球光伏和半导体市场需求的持续稳定增长、行业技术创新和政策支持，光伏和半导体企业的市场需求仍保持积极增长。2023年，公司营业收入60003.79万元，同比增长59.06%；归属于母公司的净利润为70,539.58万元，同比增长55.97%。 碳化硅设备企业“快马加鞭” 碳化硅风头正劲，设备企业迎风起步。碳化硅设备端除了扩大产能外，还经常发布8英寸的技术产品。 其中，在长晶炉方面，北方华创开发了三种型号的8英寸SiC长晶设备；8英寸SiC长晶设备已在客户处批量验证。在外延设备方面，北方华创可为6/8英寸SiC生产线提供外延炉；晶盛机电在SEMICON 上海国际半导体展发布了8英寸双片碳化硅外延设备、8英寸碳化硅测量设备、12英寸自动减薄抛光设备；智能和中电48研究所也成功开发了8英寸SiC外延炉。另一方面，国内碳化硅设备也逐渐进入国际企业供应链体系。受设备认证周期长、厂家更换成本高、稳定性风险等因素影响，国内碳化硅设备企业面临国际困难，但这种情况正在被打破。例如，优晶技术可以在2023年底方便地获得国际半导体巨头的碳化硅长晶设备订单。 此外，自2024年以来，许多碳化硅设备企业都更新了IPO动态。其中，碳化硅外延设备制造商已接受三代智能和核心辅导；优晶技术和联讯仪器也处于辅导阶段。其中，优晶技术业务包括SIC长晶设备的设计、研发、生产、服务和销售；联讯仪器提供碳化硅等高端测试仪器和设备。而且晶亦精微在2月5日顺利过会。据悉，晶亦精微控股股东为中电科45所，实际控制人为中电集团。晶亦精微主要从事半导体设备的研发、生产、销售和技术服务。 碳化硅从6英寸到8英寸的发展速度正在加快，而8英寸也将是碳化硅设备大规模应用的重要战场。从技术到生产能力再到订单，国内碳化硅设备企业继续努力帮助国内衬底制造商加快迭代，在全球市场上与国际企业竞争。