3月6日下午，就中芯国际深圳厂区到货一台荷兰进口大型光刻机一事，该公司解释称：属常规设备导入，并非外界所关心的极紫外光刻机（EUV）。报道指出，这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。
据中芯国际官网介绍，其深圳厂区位于深圳市坪山区，一期200mm（8英寸）芯片代工厂可提供从0.35μm到90nm的晶圆制程服务。“深圳厂的成功扩产能够支持更多200mm产能需求，并满足日益增长的客户及市场的需求”。
另外，该公司总部位于上海张江高科技园区，在本地建有一座200mm芯片厂及一座300mm芯片厂，分别提供0.35μm到90nm，45/40nm到28nm的制程技术服务。
此前《羊城晚报》报道，3月4日，中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区。报道指出，这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。
报道援引中芯国际公司关务经理罗荣慧话语称，生产线扩容后全年预计可为企业增加10%左右的营收。
另外，根据中芯国际近期发布的公告，其已经花费17亿美元分别向泛林团体、应用材料、以及东京电子购买半导体设备。
其中，向泛林团体发出的购买单总金额约6亿美元；应用材料购买单的总金额为5.43亿美元，东京电子购买单总金额应用材料购买单的总代价为5.43亿美元。
2018年5月，中芯国际曾向荷兰阿斯麦尔（ASML）订购了一台最新型的EUV光刻机，价值高达1.5亿美元，原计划在2019年初交付。
不过，由于美国方面阻扰，这项交易至今仍未完成。