湖南楚微半导体项目或将于年底实现首片晶圆下线

2020-03-18
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摘要 湖南楚微半导体科技有限公司实施 8 英寸线集成电路国产化设备集成及验证,并进行相关工艺产品规模制造,以整线工艺验证设备的模式替代过去的单机台验证模式,实现成套成体系国产化设备与工艺相结合。

中国电科集成电路成套装备国产化集成及验证平台工程——楚微半导体科技股份有限公司项目进展顺利,或早于此前规划实现产线运行。公司确保今年底整线工艺串通并实现首片晶圆下线,实现国内第一条集成电路装备验证工艺线在湖南运行。

据悉,中国电子科技集团公司第四十八研究所致力于在半导体设备与研发,在长沙市高新区成立了湖南楚微半导体科技有限公司。湖南楚微半导体科技有限公司实施 8 英寸线集成电路国产化设备集成及验证,并进行相关工艺产品规模制造,以整线工艺验证设备的模式替代过去的单机台验证模式,实现成套成体系国产化设备与工艺相结合。项目总投资 25 亿元,建设 8 英寸集成电路装备验证工艺线。

中电科集成电路成套装备国产化集成及验证平台建设项目是长沙高新区重大在建产业项目之一,2018 年 11 月底开工建设;2019 年 9 月 28 日,厂房主体结构封顶。

在该项目封顶活动上,中电科电子装备集团有限公司党委书记、董事长,48 所党委书记左雷表示,项目厂房主体封顶只是工程建设的一半,更关键更繁杂的工作还在后面,希望大家以此为新的起点,继续搞好后续工程建设,把项目建成样板工程、示范工程、精品工程,更好服务国家战略和地方经济发展。

据悉,该项目一期建成后将提供同时 20 台套设备在线的验证能力,年验证能力超 40 台。在此基础上,项目二期将进一步完善发展,形成 12 英寸集成电路装备的验证能力。项目原预计 2021 年竣工投产。

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