纳米静电驱动的超声波换能器
据麦姆斯咨询报道，为了支持中小型企业的开发和应用，德国弗劳恩霍夫协会旗下三家研究所正在联合搭建一个MEMS超声波换能器（MUT）平台。
这三家研究所将与产业界合作伙伴共同开发各种MEMS超声波换能器件并试生产。
电容式MEMS超声波换能器（CMUT）
该项目由弗劳恩霍夫应用研究促进协会（Fraunhofer Gesellschaft）提供资金，专门面向中小型企业。
MEMS超声波换能器阵列
近年来，超声波换能器已成为很多工业、医疗和移动应用的基础器件，例如距离测量、微定位、手势控制、碰撞传感、内窥镜检查和超声波检查等。目前，这些专用的超声波换能器大多由中小型企业自行开发和制造。
如今的MEMS超声波换能器可以实现高度紧凑的传感系统，提供更高的灵敏度，还可以利用阵列实现成像或指向等应用。
此外，还可以避免使用对健康和环境有害的材料。不过，开发这些基于半导体的超声波换能器通常成本很高，这对于许多中小型企业来说往往难以承受。
用于超声成像的压电MEMS超声波换能器（PMUT）
“我们与弗劳恩霍夫硅技术研究所ISIT和弗劳恩霍夫电子纳米系统研究所ENAS一起，希望共同搭建一个MEMS超声波换能器平台。利用模块化的方法，我们可以快速高效地适应和开发创新的超声波系统，以满足特定的应用。”弗劳恩霍夫光子微系统IPMS研究所的Arg Amelung说，“通过整合三家研究所的能力，我们创建了一个高效的联盟，不仅可以利用技术组合确保广泛的应用，还拥有能够进行试生产的基础设施。这为学术研究和产业化发展搭建了桥梁，为中小企业提供了一个有吸引力的整体方案。”
作为MEMS超声波换能器平台开发的一部分，将涉及三个核心中小企业研究领域：超声波换能器制造技术、人机交互技术以及医疗应用技术。
弗劳恩霍夫硅技术研究所ISIT“MEMS应用”业务部门负责人Fabian Lofink博士说：“我们相信，MEMS超声波换能器的关键特性、小型化、灵敏度以及阵列功能，将在这里创造显著的附加值。”
延伸阅读：
《压电能量收集和传感-2019版》
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