三氟化氮，中文别名:氟化氮，CAS号:7783-54-2，分子式:F3N，分子量:71.0019。在微电子工业中用作一种优良的等离子蚀刻气体。

深国安SGA-700-F3N系列智能型三氟化氮气体传感器模组是一款标准化、模块化、智能化气体检测产品；体小易用；主要为解决气体检测种类繁多、各品牌气体传感器互不兼容、生产标定复杂、核心元器件更换受限等问题；使用深国安的智能模组，只需前期对接一次，即可满足1000多种气体检测需求；模拟电压和数字信号双输出，扩散式和泵吸式两个采样方式可选，方便系统集成，客户直接供电即可采集数据。即买即用，无需二次开发或标气调校。降低企业的研发和时间成本，并且检测精度高、稳定性强。

SGA-700-F3N系列智能型三氟化氮气体传感器模组采用国外进口芯片，确保产品的精度和稳定性；具体生产工艺为：先将国外原装进口的气体传感器进行信号放大、数据处理、智能计算后，再进行全量程三点温湿度补偿。然后再用高精确度的标准气体进行数据校准。因此，体积更小、价格更低、性能更加优良稳定；客户购买后，无需任何操作，无需再次标定，可直接采集处理后的标准信号RS485、0-5V之间任意电压和TTL数字信号，上传到PLC、DCS、DDC、数据采集仪等上位机系统；方便快捷、节约成本；产品广泛应用于科研实验室、数据采集、气体监测、过程化控制、物联网、无人机、工业机器人、网格化大气环境监测仪、温室气体在线监测、恶臭在线监测、有毒气体检测等领域。

SGA-700系列内置四电极高精度气体传感器，有700B扩散式采样、700C泵吸上下采样、700D泵吸左右采样；连接紧密不漏气，适合空间受限的客户。