成立于1992年的西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室，是国内较早开展MEMS研究的单位之一。今年上半年，世界上第一台流体壁面剪应力测试仪在该校研制成功。
我国开发出世界首台流体壁面剪应力测试仪，资料图
该仪器在高性能微型敏感探头技术、微弱信号抗干扰电测系统技术及复杂恶劣工作环境探头封装保护技术上取得突破，能对流体壁面剪应力进行快速、有效、可靠测试，测试结果为大型客机、航空发动机、水下航行器外形设计及河口海岸工程提供数据支撑。此举为飞行器航行器的摩阻应力与精细流动测试，提供了核心装备，解决了重大工程需求。
流体壁面剪应力是最基本的流体力学参量之一，是研究边界层流动状态的直接物理量，也是精细掌握与控制摩擦阻力的最重要依据。对物体表面进行剪应力测量，能够掌握物体表面流场状态，为外形、结构优化提供基础数据。由于剪应力量值极小、动态性高、被测流场极易受到干扰破坏，国内外一直没有形成有效测试手段，更没有专门仪器，影响了相关科技工业发展和重大工程建设。在国家重大科学仪器设备开发专项支持下，西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室研究团队近期研制出功能齐全、质量稳定可靠、测试结果准确直观的流体壁面剪应力测试仪。
据团队成员邓进军副教授介绍，该测试仪充分利用微机电系统（MEMS）技术高度集成、灵敏度高、动态性好的独特优势，通过建立微加工工艺及测试规范，研发出柔性热敏薄膜微传感器和浮动式剪应力微传感器两类关键核心器件。
同时，仪器配备多通道探头，能捕捉不同位置流场数据并进行流动状态分析，成套流体壁面剪应力测试仪器测量范围0-60Pa，最高分辨率0.3Pa，精度5%，并具有高时间空间分辨率、对流场干扰小的优点。
流体壁面剪应力测试仪开发与应用项目，是空天微纳系统教育部重点实验室2013年起牵头承担的国家重大科学仪器设备开发专项。该项目针对重大工程需求及广阔市场前景，致力于开发流体壁面剪应力测试仪器，解决气动水动实验长期存在的流体壁面剪应力无法有效测量难题。