8月5日上午，芯源微临港研发及产业化项目开工仪式在闵行开发区临港园区隆重举行，临港新片区管委会、上海闵联临港联合发展有限公司等领导及嘉宾、合作单位代表在现场共同见证了上海芯源微扎根临港、高速发展的新起点。
该项目占地45亩，规划总建筑面积约5.4万平方米。项目定位高端工艺技术节点的集成电路光刻工艺涂胶显影设备及化学清洗设备的研发及产业化，成为芯源微研发创新高地。即日起，项目主体工程全面开工。项目建成后将具备较强的国际先进水平半导体设备研发、测试、服务能力，加速高端半导体设备国产替代进程。
上海芯源微是沈阳芯源微的全资子公司。芯源微在上海临港的布局和发展，是临港新片区集成电路产业提升的重要一环，将在高端半导体设备国产替代进程中发挥重要的作用。
目前，新片区已经集聚集成电路企业超190家，签约投资额超2200亿元。接下来，新片区将会用最好最开放的政策组合拳，把更多像芯源微这样的优质企业引进临港，让临港的集成电路产业链既“全”又“尖”，全力把“东方芯港”建设成为国内集成电路产业生态最完整的地区。