如果说集成电路是信息社会的“大脑”，那么MEMS智能传感器就是信息社会的“五官”。当前，随着新一轮工业革命和产业变革的蓬勃兴起，以MEMS技术为代表的智能传感器广泛应用于人工智能、5G通信、物联网等众多基础和前沿领域。8月19日，在第三届全球传感器与物联网产业创新峰会上，中国半导体行业协会MEMS分会常务副秘书长万成东表示，近年来，MEMS应用领域与市场规模不断扩大，国内MEMS产业迎来了重大发展机遇期。
一、MEMS市场需求旺盛，国产芯片迎来重大机遇。2021年中国MEMS市场规模超过900亿元，同比增长超过20%，中国已成为全球MEMS产业最大单一市场，增速远高于全球平均水平，展现出了蓬勃发展的势头。预计到2023年中国MEMS市场规模将超过1200亿元，MEMS国产化芯片迎来了重大发展机遇。但国内MEMS产品的技术水平与国外相比仍有很大的差距，尤其高端MEMS传感器普遍受到西方国家制约。
二、大而不强，前路漫漫，我辈仍需努力。目前，我国在中高端MEMS市场超过60%的市场份额被国外巨头占据，80%的传感器芯片依赖国外。欧洲、美国、日本等几乎垄断了全球“高、精、尖”传感器市场。时下芯片领域的国产替代为国内半导体厂商带来了难得的机遇，但相比国外同行，我国MEMS产业在发展过程中存在以下几个问题：国家战略层面缺乏足够重视、关键技术与核心产品和国际顶尖尚存差距、缺乏有代表性的晶圆制造平台、产业链协同创新不够、高端人才特别是领军人才匮乏。
三、加强我国MEMS产业的核心竞争力，提升国产芯片的市场占有率，已是刻不容缓的任务。万成东呼吁行业向上反映实际存在问题，在国家层面明确MEMS的重要战略地位，出台对应引导政策并加强顶层设计和系统布局；建设国家级MEMS技术创新中心、国家重点实验室、晶圆制造代工平台、器件测试分析平台以及模块封装与应用平台；根据国家重大战略需求，推动发展全球领先的重大关键技术攻关，支持“四基” (核心基础零部件、关键基础材料、先进基础工艺和产业技术基础) 研究，实现MEMS产业从跟跑、并跑到最终领跑；推动产业链协同创新，支持MEMS芯片制造龙头企业建立企业协同创新网络，与研发设计环节产生互动。
作者：朱文凤
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