德国海德堡仪器公司（Heidelberg Instruments）始建于1984年，现已发展成为集研发和制造并做为基于非掩膜正交系统技术下利用复杂激光去完成微米级图形的绘制方面的领军企业，这些系统可应用于集成电子领域的高精度光掩膜版制作，平面显示技术，MEMS，以及微米乃至纳米级的微光路。德国海德堡仪器公司的客户包括了全球主要的以微米，纳米技术为研究方向的科技公司，以及在电子，通讯，和信息技术方面最前沿的研究机构。德国海德堡仪器公司位于德国海德堡市，并且在亚洲，欧洲，和北美洲都设有客户服务办公室。海德堡仪器设计、开发和制造用于制造微结构的无掩模激光光刻系统，为全球光刻界的直写领域和光掩模生产提供服务。应用领域包括 MEMS、微光学、先进封装 (3DIC)、IC、平板显示器 (FPD)、微流体、传感器以及其他模拟和数字电子元件。我们的系统在 50 多个国家用于研发、快速原型设计和工业生产。2018 年，SwissLitho 加入了海德堡仪器公司，SwissLitho 是一家年轻的创新型高科技公司，拥有扫描热探针光刻 (STPL) 方面的专业知识，这是一项通过其 NanoFrazor 系统实现的技术。海德堡仪器和 SwissLitho 现在能够共同为客户提供纳米和微光刻领域的更多工具和选项。在 NanoFrazor 中，可加热硅尖端用于直接图案化任意 2D 和 3D 纳米结构，并同时对所得微小结构进行成像。中国分公司德商海德堡激光技术（深圳）有限公司