概伦自动量测解决方案是以 FS-Pro 半导体参数分析仪和自研硬件设备为基础,结合概伦电子在自动量测与建模领域多年积累的经验而开发的一整套软件和硬件集成方案。此方案功能全面、配置灵活在一个系统中实现了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式 I 测试、高速时域信号采集、低频噪声测试,以及多种可靠性测试,通过控制概伦自主研发的低漏电矩阵开关和主流型号的探针台,完成半自动或全自动测试,适用于晶圆级电学参数测试、器件模型数据测试、晶圆级可靠性测试等多种自动化量测应用场景,其强大而全面的测试分析能力可极大地加速半导体器件与工艺的研发评估进程,可满足各类半导体实验室需要。