西安励德微系统科技有限公司 是一家专业提供MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)一体化解决方案的技术创新企业。公司建有标准化MEMS产线一条,涵盖深硅刻蚀、双面光刻、薄膜、清洗、键合和隐形划片等全产业链工艺设备和对应的测试能力,该6寸MEMS中试线能够完成从器件设计、工艺开发、工艺验证到批量生产等全产品孵化流程,为众多科研院所、创新企业和高等院校提供了切实可行的定制化MEMS加工解决方案。
励德荣誉
励德参与研制的特种MEMS芯片,荣获2019年国家科学技术进步二等奖;
励德参与开发某姿态调整的MEMS执行器,可实现目标物指定角度的精准调控;
励德参与制作的超高精度静电计协助高校课题组荣获Transducers 2015最佳论文提名奖、IEEE MEMS 2016最佳论文奖;
励德突破深硅刻蚀、悬置结构释放等SOI基制造环节技术瓶颈,并将其应用于MEMS光学传感器,实现了高精度工业相机三维成像;
励德合作研制的MEMS执行器,代表着微器件未来发展的重要方向之一;
励德合作研发高精度压力微推执行器,已应用于极限环境下核心控制区。