淄博国家高新区MEMS研究院于2010年由淄博高新区与清华大学机械工程学院合作共建，致力于建设运营国内首条6英寸硅基MEMS中试代工线，引进培养MEMS专业人才，推进MEMS技术和产品在淄博的研发与产业化，带动我国MEMS产业及其相关的先进制造、电子信息和新材料等产业的跨越式发展。 研究院聘请中国工程院院士尤政教授担任名誉院长，设有“精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS分实验室”、“清华大学微米纳米技术研究中心MEMS分中心”和“智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室”等机构，可提供MEMS器件设计、中试、代工和检测分析等专业服务，并具备知识产权、标准化等公共服务。 为推动MEMS科技成果转化，研究院投资组建了国有控股公司——山东博华电子科技发展有限公司。公司集中了国内专业从事MEMS工艺和传感器设计的专家人才，专门从事MEMS微型传感器的研发与生产。
