我公司成立于1952年，在技术合作的前提下，与美国NRC设备公司签订了总代理协议，以进口和销售各种真空设备为目的。
业务内容：显示器、半导体、电子、电力、金属、机械、汽车、化学、食品、制药等行业的真空设备、周边设备、真空元件、材料的开发、制造、销售、客户支持和各种机器作为高校和科研院所，进出口。通用真空技术研究指导和技术顾问。
ULVAC一直在提供基于真空技术的产品和材料，这些产品和材料对所有工业领域都是必不可少的。我们将以真空技术为中心，推动能够响应实际和潜在需求的创新和先进技术开发，创造高附加值的产品和技术，继续为社会发展做出贡献。
为了不断向瞬息万变的市场提供创新的技术和产品，我们分析客户需求和市场趋势，开发主营业务核心产品的创新技术和为未来做准备的要素技术。我们将明确区分“开发”并促进选择和集中。此外，我们将通过与各种公司和研究机构的业务合作来构建开发系统。
此外，为了快速应对伴随全球网络基础设施和智能社会建设而来的5G和物联网演进等社会问题，以及全球变暖和气候变化等环境问题，我们的目标是在全球范围内获取先进技术。长期。我们正在努力为可持续增长奠定基础。
历史
1952 年 8 月以进口和销售各种真空设备为目的，成立日本真空工程株式会社（资本金：600万日元）。
1955 年 4 月设立大森工厂，开始制造国产设备。
1956 年 11 月合并东洋精机真空研究所株式会社，作为尼崎工厂开始制造真空化学设备和真空泵等标准产品。
1959 年 4 月将总公司和大森工厂迁至横滨市。
1961 年 7 月应用真空技术的基础知识开始真空冶金业务。
1962年9月成立真空材料株式会社（更名为爱发科材料株式会社），开始销售耐火材料。
1962 年 10 月成立 SHINKU RIKO（现 ADVANCE RIKO Co., Ltd.）作为热分析仪器的专业制造商。
1963 年 10 月公司与新生产业株式会社（1929年9月20日成立）合并，同日更名为日本真空工程株式会社，继续原日本真空工程株式会社的业务，有限公司
1964年1月将Reliance事业部与国际事业部分离，与美国Reliance Electric and Engineering Co.合资成立Reliance Japan Co., Ltd.。
1964 年 7 月与香港万丰有限公司合资成立香港阿尔巴克有限公司。
1966年4月分离真空冶金事业部，成立真空冶金有限公司。
1968 年 5 月将总公司和横滨工厂迁至茅崎市。
1970 年 7 月成立 Sanwa ULVAC Sales Co., Ltd.（更名为 ULVAC East Japan Co., Ltd.）作为独家经销商。
1971 年 7 月作为小型真空泵的专业制造商，成立新空机工株式会社（现爱发科机工株式会社）。
1972 年 7 月在千叶县设立超级材料研究所。
1975 年 12 月在北美成立ULVAC North America Corp.（现为ULVAC Technologies, Inc.），作为向美国出口的据点。
1977 年 1 月成立九州阿尔巴克株式会社（现阿尔巴克九州株式会社），扩大九州地区的销售活动。
1979年1月分离服务部门，成立ULVAC Service Co., Ltd. 分离SI部门，成立ULVAC COATING CO., LTD.
1981 年 10 月与美国Helix Technology Corp.合资成立ULVAC Cryo, Inc.。
1982年1月在台湾台北市成立ULVAC TAIWAN Co., Ltd.（现ULVAC TAIWAN INC.）。
1982 年 11 月与美国The Perkin Elmer Corp.合资成立ULVAC-Phi, Inc.。
1982 年 12 月在茨城县筑波学园市（现筑波市）设立筑波超材料研究所。
1983 年 2 月在中国北京开设北京办事处。
1985 年 3 月交付核聚变临界等离子体实验装置“JT-60”抽真空系统。
1985年4月在关西设立基地工厂ULVAC Seiki Co., Ltd.。
1987年1月在青森县八户市成立东北真空技术株式会社（现阿尔巴克东北株式会社），强化大型设备的生产体制。
1987 年 2 月在西德成立ULVAC GmbH，强化欧洲的服务体系。
1987 年 5 月成立ULVAC Corporate Center Co., Ltd.以支持集团公司。
1987年9月公司英文名称变更为ULVAC Japan, Ltd.
1988年10月在鹿儿岛成立九州真空技术株式会社，建立真空泵的量产体制。
1990 年 5 月在静冈县裾野市设立富士裾野工厂，强化半导体制造设备的生产体制。
1991 年 12 月Kyushu Vacuum Engineering Co., Ltd.与ULVAC SEIKI Co., Ltd.合并，更名为ULVAC SEIKI Co., Ltd.
1992年4月资本金从 12.1 亿日元增至 38.3 亿日元。
1992年6月资本金增至38.5亿日元。
1994 年 10 月ULVAC Service Co., Ltd.与ULVAC Material Co., Ltd.合并，更名为ULVAC Techno Co., Ltd.。
1995 年 5 月在韩国首尔成立 ULVAC KOREA, Ltd.。
1995年9月与宁波中智动力机械集团有限公司在中国合资成立宁波艾特真空技术有限公司。
1996 年 11 月为了扩大真空设备的生产能力，东北真空工程株式会社和阿尔巴克九州株式会社鹿儿岛办事处扩建了无尘工厂。
1998年1月开设新加坡客户服务中心及台湾新竹研发中心，拓展亚洲
2000年4月开设台北五谷服务中心。
2000 年 8 月在ULVAC KOREA, Ltd.成立平泽工厂作为生产工厂。
2001 年 5 月在宁波艾卡真空技术有限公司设立新工厂。
2001 年 7 月公司名称变更为ULVAC, Inc.（英文公司名称：ULVAC, Inc.）。
2001 年 11 月成立ULVAC TAIWAN INC. 桃园CIP工厂，强化客户支援。
2002 年 1 月成立ULVAC SINGAPORE PTE LTD以加强客户支持系统。
2002 年 7 月ULVAC East Japan Co., Ltd.与高山ULVAC Co., Ltd.合并，更名为ULVAC ES Co., Ltd.（现ULVAC Sales Co., Ltd.）。
2002 年 12 月收购 Physical Electronics USA, Inc. 拥有的 ULVAC-PHI, Inc. 50% 的股份，使其成为 100% 的子公司。
2003 年 3 月从美国RELIANCE ELECTRIC COMPANY手中收购Japan Reliance Co., Ltd. 31%的股份，持股比例增至81%。
2003 年 5 月ULVAC Tohoku Co., Ltd.、ULVAC TECHNO Co., Ltd. 和 UMAT Co., Ltd. 在东北建立了一家集机械加工、表面处理和精密清洁于一体的工厂。
2003 年 7 月在中国成立爱卡真空技术（苏州）有限公司，作为正式的生产工厂和CS解决方案工厂。
2003 年 8 月收购制造和销售工业喷墨设备的 Litrex Corporation 50% 的股份。
2004 年 4 月在东京证券交易所市场第一部上市。
资本金从 38.5 亿日元增加到 81 亿日元。
2004 年 5 月资本金从81亿日元增至89.5亿日元。
2004 年 7 月ULVAC KOREA, Ltd.和ULVAC TOHOKU Co., Ltd.在韩国合资成立Ulvac Korea Precision, Ltd.，生产大型基板真空元件。
ULVAC KOREA, Ltd.和Vacuum Metallurgical Co., Ltd.在韩国合资成立Pure Surface Technology, Ltd.，目的是对沉积设备零件进行表面处理。
2004 年 8 月与Reliance Japan Co., Ltd.和Keiden Industrial Co., Ltd.在中国合资成立Aika-Keiden Technology (Shanghai) Co., Ltd.，生产和销售控制面板和自动控制驱动装置。
2004 年 12 月资本金从 89.5 亿日元增至 134.68 亿日元。
2005 年 1 月ULVAC KIKO株式会社与江苏宝力集团有限公司在中国合资成立爱卡天马电气（靖江）有限公司，主要生产和销售真空泵零部件。
与沉阳中北真空技术有限公司合资，在中国成立爱卡中北真空技术（沉阳）有限公司（现爱卡真空技术（沉阳）有限公司），主要生产和销售真空炉.
收购成都东方爱卡真空技术有限公司，并更名为爱卡东方真空（成都）有限公司。
2005 年 4 月Shinku Yakin Co., Ltd.与UMAT Co., Ltd.合并，更名为ULVAC MATERIAL CO., LTD.
为扩大平板显示器业务，收购富士通VSI有限公司的设备业务。
2005 年 6 月ULVAC KOREA, Ltd.扩建Genya工厂以扩大生产。
在爱发科机工株式会社宫崎工厂设立小型真空泵的评价验证可靠性评价中心。
2005 年 11 月收购UK Cambridge Display Technology Limited持有的Litrex Corporation 50%股权，使其成为全资子公司。
在泰国成立 ULVAC (THAILAND) LTD. 进行销售和现场支持。
2005 年 12 月在台湾成立ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation，以制造平板显示器制造设备等，以及ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP.，以提供零件加工和零件清洗等现场支持。
2006 年 3 月以管理中国法人为目的，成立爱佳（中国）投资有限公司。
2006 年 4 月在台湾成立ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.，生产控制面板等。
2006 年 7 月在韩国成立 ULVAC Resear
2006 年 8 月收购制造和销售精密平台的 Sigma Technos Co., Ltd. 的股份 (70%)。
成立 ULVAC MALAYSIA SDN. BHD. 在马来西亚进行销售和现场支持。
20062006 年 8 月收购制造和销售精密平台的 Sigma Technos Co., Ltd. 的股份 (70%)。
成立 ULVAC MALAYSIA SDN. BHD. 在马来西亚进行销售和现场支持。
2006 年 9 月在神奈川县茅崎市成立真空设备零件表面处理的ULVAC TECHNO Co., Ltd. Chemical Center。
为了集中生产小型真空泵，扩建宫崎县斋藤市的ULVAC KIKO Co., Ltd. Miyazaki Plant。
2006 年 11 月在爱知县春日井市设立爱知工厂，扩大平板显示器制造设备的产能。
2007 年 6 月成立ULVAC, Inc. India Branch，扩大在印度的业务。
2007 年 9 月在埼玉县日高市成立 Sigma Technos Co., Ltd. 总部工厂，生产和销售大型精密平台。
2007 年 11 月伴随惠电实业有限公司的股权转让，公司名称由爱卡卡惠电科技（上海）有限公司变更为爱卡卡自动化技术（上海）有限公司。
2008 年 2 月以合同开发设计为目的成立了ULVAC Y.M.E. Co., Ltd.（现ULVAC Engineering Co., Ltd.）。
2008 年 7 月成立专门从事现场支持的ULVAC Human Relations, Inc.。
2008 年 8 月与ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation合并，以ULVAC TAIWAN INC.为存续公司，精简台湾管理。
2008 年 8 月在韩国成立 ULVAC Materials Korea, Ltd.，生产和接合溅射靶材。
2008 年 10 月将业务从ULVAC MATERIALS, INC.转移到ULVAC, Inc.以高效生产溅射靶材和加强开发系统，并将业务转移到ULVAC TECHNO, INC.和ULVAC KYUSHU, INC.以完善保洁业务支持体系。
2009 年 4 月在中国成立爱佳电子材料（苏州）有限公司，生产和接合溅射靶材。
2009 年 4 月在中国成立Afka Haowei Photoelectric Thin Film Technology (Shenzhen) Co., Ltd.，以制造触控面板为目的。
2009 年 6 月为了灵活地开展东亚显示器业务，我们解散了Litrex Corporation，并在我们公司继续开展业务。
2009 年 12 月在中国成立爱发（苏州）技术研究开发有限公司，进行研发。
2010 年 1 月资本金从 134.68 亿日元增加到 208.73 亿日元。
2010 年 3 月将千叶超材料研究所新迁至富里工业园区，加强研发。
2010 年 10 月我公司与ULVAC MATERIAL, INC.合并，将ULVAC KYUSHU INC.的服务、清洗、表面处理业务转让给ULVAC TECHNO INC. ULVAC Kyushu Co., Ltd.与ULVAC Seiki Co., Ltd.合并。
2011 年 7 月成立韩国超级材料研究所作为 ULVAC KOREA, Ltd. 的附属实验室，以加强在韩国的研究和开发。
2012 年 6 月解散ULVAC Corporate Center Co., Ltd.，继续在ULVAC开展同样的业务。
2012 年 7 月ULVAC ES Co., Ltd. 更名为ULVAC Sales Co., Ltd. 以强化销售体系。
2012 年 9 月解散Sigma Technos Co., Ltd.
2013 年 10 月将 Reliance Japan Co., Ltd. 的部分股份（相当于 80%）转让给 Takaoka Seisakusho Co., Ltd.。
2014 年 6 月解散 ULVAC Research Center TAIWAN, INC. 并继续与 ULVAC TAIWAN INC. 相同的业务
2014 年 6 月在中国成立爱佳真空设备（上海）有限公司，以保税方式采购和销售进口零部件。
2014 年 12 月将ULVAC-RIKO Co., Ltd.（现ADVANCE RIKO Co., Ltd.）的全部股份转让给株式会社奇诺。
2015 年 1 月解散ULVAC Engineering Co., Ltd.
2015 年 7 月成立未来技术研究所。
2016 年 12 月收购沉阳中北真空技术有限公司持有的阿拉巴马中北真空（沉阳）有限公司（现阿拉巴马真空技术（沉阳）有限公司）25%的股权，使其成为全资子公司.
2017 年 9 月爱卡中北真空（沉阳）有限公司变更为全资子公司，公司名称变更为爱卡真空技术（沉阳）有限公司。
2018 年 7 月在中国成立爱佳镀膜技术（合肥）有限公司，生产和销售平板显示器用掩模坯料。
2018 年 10 月宁波爱卡真空科技股份有限公司实施第三方配售新股。
2018 年 11 月在大阪大学成立阿尔巴克未来技术研究所。-建立基础研究基地，努力为人才培养做贡献-
2019 年 1 月Reliance Japan Co., Ltd. 更名为 REJ Co., Ltd.
