国家智能传感器创新中心 致力于先进传感器技术创新，联合传感器上下游及产业链龙头企业开展共性技术研发，形成“产 学 研 用”协同创新机制，打造世界级智能传感器创新中心。
在工业和信息化部的指导下，国家智能传感器创新中心于2018年6月成立。创新中心依托上海芯物科技有限公司，采用“平台+联盟”的方式，通过构建产业生态圈，面向智能传感器设计、材料、制造、设备、封装、测试等产业链上的大中小型企业提供关键共性技术支撑平台。
国家智能传感器创新中心以应用为导向，通过建立传感器新材料、新工艺、新器件结构等的研发平台、工艺制造平台、测试平台、设计服务平台、工程服务平台，研发新一代传感器的材料、制造工艺、封装、器件集成等方面的核心技术，推进关键共性技术的产业化。
MEMS产线（中试线）-12英寸
2021年6月30日，由国家智能传感器创新中心（简称“创新中心”）建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。
该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。
