国高（淄博）微系统科技有限公司 由淄博高新区国有资产管理公司、淄博高新区MEMS研究院、山东齐芯微系统科技有限公司共同投资组建国有控股公司。2012年12月成立，以“精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS分实验室”、 “清华大学微米纳米技术研究中心MEMS分中心”和“智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室”为技术依托，集中了国内专业从事MEMS工艺和传感器设计的专家人才，专门从事微型传感器的研发和生产，是山东省第一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的企业。国高（淄博）微系统科技有限公司 首期投资约1.2亿元，建有4996m2的厂房，拥有340m2百级超净实验室、400m2千级超净实验室、800m2万级超净实验室，超净规模国内一流，省内独家;拥有德国SUSS公司光刻机、奥德利EVG公司键合机、英国SPTS公司深硅刻蚀机等国际一流设备的6寸硅基代工线，生产能力达到月产传感器十万只以上，产品的测试环境也居国内先进水平。公司超净环境建设基本完工，工艺生产设备已基本完成采购，正进行动力系统联机调试、工艺设备到货安装及二次配管等工程，下一步将进行工艺设备调试验收、转化产业的试生产。 2014年是代工线全面进入设备建线、团队搭建的关键时期，现急需半导体技术、IC加工与集成技术、微纳机电系统（MEMS）背景的设备工程师、工艺研发工程师、厂务工程师，以及相关专业背景的原料采购、品质管控、EHS、市场业务等人才。
公司主要服务模式
（1）中试工艺研发、产品委托研发
（2）6英寸MEMS加工（含部分封装）服务
（3）以技术平台支撑的知识产权运营
（4）产品检测
（5）代工工艺转移
（6）设备租赁、场地租赁
（7）工艺技术培训
主要工艺
加工：光刻，镀膜，刻蚀，注入，扩散，CMP
封装：键合，划片，共晶，回流，倒装焊
检测：光、电、力、磁检测，结构检测，形貌检测，产品性能检测
主要产品
MEMS继电器开关、MEMS陀螺仪、微加速度计及其它。
山东博华电子科技发展有限公司
山东博华电子科技发展有限公司由淄博高新区MEMS研究院投资组建的国有控股公司。以“精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS分实验室”、 “清华大学微米纳米技术研究中心MEMS分中心”和“智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室”为技术依托，集中了国内专业从事MEMS工艺和传感器设计的专家人才，专门从事微型传感器的研发和生产，是山东省第一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的企业。微系统产业创新园占地170亩，拟投资10亿元，规划建筑面积12万平方米，包括综合服务楼。标准化厂房MEMS中试代工平台等部分。园区重点引进国内外MEMS创业团队，产品公司，封装测试公司，致力打造涵盖微机电系统器件设计，中试代工，封装测试，规模量产的全产业链的一流产业园区。
MEMS产线
淄博高新区6英寸中试线
该产线由清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有限公司共同完成。
是国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净规模国内一流；配备了国际一流设备的中试代工线，中试生产能力可达月产传感器十万只，产品的测试环境也居国内先进水平。
为推动MEMS科技成果转化，研究院投资组建了国有控股公司——山东博华电子科技发展有限公司。公司集中了国内专业从事MEMS工艺和传感器设计的专家人才，专门从事MEMS微型传感器的研发与生产。
