中国科学院空天信息创新研究院（简称 空天院）在中国科学院电子学研究所、遥感与数字地球研究所、光电研究院的基础上整合组建，于2017年7月29日由中国科学院院长办公会议审议通过。空天院的成立，是中国科学院党组顺应党中央对科技机构改革的总要求、深化四类机构改革的重要举措。
空天院以成为国家实验室建设的核心力量，引领我国空天信息领域创新发展的战略科技力量为总体目标。在空天信息领域承担国家基础性、战略性和系统性重大任务，提出并组织国家空天领域重大科技计划，建设和运行国家相关重大科技基础设施，解决国家重大科技问题，获得有国际影响力的研发成果。
MEMS产线（研发平台）
中国科学院电子学研究所（以下简称电子所）创建于1956年，现已并入中国科学院空天信息创新研究院，是我国第一个综合型电子与信息科学研究所，设有传感技术联合国家重点实验室(北方基地)，建有用于MEMS研发使用的MEMS产线。
