ISTEQ

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公司简介


传感专家


荷兰 ISTEQ 是一家创新的高科技公司,为全球各种工业应用开发了广泛的现成解决方案。 这些应用主要用于半导体行业以及材料分析和光谱学。我们的主要重点是开发和制造等离子光源、光谱学和显微镜设备,适用于从X射线到红外线的光谱区域。

ISTEQ BV 在开发和制造各类产品方面拥有广泛的专业知识和技术。

这些产品包括光源、建模软件和代码。 ISTEQ 的团队在开发尖端产品(从概念、可行性到生产)方面拥有丰富的经验。在 ISTEQ,我们倾听客户的意见,以确保我们准确地提供他们所需要的东西。​

ISTEQ  位于被誉为荷兰“最智能的平方公里”的埃因霍温高科技园区。

该园区拥有超过 125 家公司和研究所,拥有超过 10,000 名研究人员、开发人员和企业家,致力于开发未来的尖端技术和产品。


我们聚焦

我们的主要重点是开发和制造从 X 射线到红外光谱区域的等离子光源、光谱学和显微镜设备。我们致力于提供定制解决方案,因此能够出色地实现并超越客户的期望。


我们的使命

我们公司的使命是以客户为中心,从而出色地满足他们的要求。作为一家支持我们开展业务的社区的公司。始终成为每位客户的首选供应商。被视为投资并被选择。


主要专长

设计和制造激光产生的等离子体

宽带光源-XWS(180-2500nm波长范围)

设计和制造激光产生的等离子体

EUV光源-TEUS -13.5nm波长

基本物理过程的建模和模拟


主要产品

等离子光源、X射线、EUV和 VUV计量设备、激光泵浦等离子体光源、TEUS EUV光源、显微镜设备、XUVVUV光谱仪、MCP-检测器、真空紫外光谱仪


主要型号

XWS 系列产品

激光产生的等离子宽带光源

ISTEQ 的 XWS 光源产品经过专门开发,可用于多种应用,包括光谱学、高分辨率显微镜、薄膜测量、表面计量等。这些来源基于尖端技术,并受全球专利保护。

XWS-30紧凑型宽带等离子光源​

XWS-65 宽带等离子光源​

XWS-X 高紫外宽带等离子光源​

极紫外产品(EUV)

激光产生的等离子体

自从行业选择走 EUV 道路以来,Isteq 集团就一直致力于这项技术的研究。我们开发了一种基于激光等离子体 (LPP) 的 EUV 光源。该光源具有极高的亮度和极高的稳定性。它还具有不间断的可更新燃料,无需更换燃料盒,因此为行业提供了极高的正常运行时间。

​ ​我们为 LPP 源开发的燃料专门针对特定应用的光谱范围。然而,针对掩模检测应用,我们开发了高频锡旋转靶,该靶已在全球范围内获得专利。​​

由于我们的团队在该领域获得的经验和专业知识,我们用于生产 EUV 的技术比其他竞争对手具有许多优势。 ISTEQ 的 XWS 光源产品经过专门开发,可用于多种应用,包括光谱学、高分辨率显微镜、薄膜测量、表面计量等。这些来源基于尖端技术,并受全球专利保护。

13.5nm EUV光源产品-高亮度、低碎片的TEUS系列​

TEUS S-100 清洁光子 EUV 源​

TEUS S-200 清洁光子 EUV 源​

TEUS S-400 清洁光子 EUV 源​