微纳感知（合肥）技术有限公司 是一家专注于MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器研发、生产和销售的国家级高新技术企业，2015年11月由中国科学技术大学留学归国人员创办。公司集合了一批海内外优秀科学家和工程师，团队成员具有在国内外顶尖微电子实验室从事MEMS技术研发的丰富经验，拥有多项涉及MEMS关键技术的专利和研究成果。 公司在明珠产业园和中安创谷产业园建有研发和制造中心，其中研发中心4000平米，制造中心4000平米（其中洁净厂房2700平米）。公司依托中国科学技术大学微纳制造中心，引进国内外先进微纳加工和表征设备，初步建成微纳加工、检测和制造工艺生产线。
MEMS产线（IDM）-8英寸
拟投资1.1亿元成立MEMS中试线/MEMS生产线，以年研发8万只MEMS 气体传感器及4万只MEMS气体流量传感器，晶圆尺寸为8英寸, 年投片为6片。
该项目于2023年1月开工建设，2023年4月完成建设，2023年4月开始调试，2023年5月, 项目完成验收。
主要产品
微纳感知由中国科学技术大学科技成果转化而来，产品包括MEMS微热板芯片、MEMS气体流量芯片、MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器及模组等。
