山东伟航敏芯电子科技有限公司带你了解什么是溅射薄膜压力传感器
2022-09-15
溅射薄膜压力传感器特点:1、溅射膜压力传感器长期稳定性好、工作温度宽、精度高、重复性好, 由于绝缘膜和基底、敏感膜与绝缘膜之间是直接在高真空环境内淀积在一起,各薄膜层间是原子力的结合,消除了粘贴胶带来的蠕变影响,同时敏感膜在高真空环境内得到二氧化硅保护膜保护,故特点是精度高、重复性好、长期稳定性好,工作温度宽(通过不同的设计可以达到耐温-200℃∽400℃的压力敏感芯体)。可长期在高温高压下工作。
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你们有用这个技术做传感器吗
评论发表于2022-09-16
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