Setra西特227表压复合压绝压超高纯压力传感器

详细说明

Setra西特227表压复合压绝压超高纯压力传感器

　　227G025PAE51106J,227G050PAE51106J,227G100PAE51106J,227G150PAE51106J

　　227G250PAE51106J,227G1000PAE51106J,227G3000PAE51106J,227G1R7BAE51106J

　　227G3R4BAE51106J,227G007BAE51106J,227G1017BAE51106J,227G035BAE51106J

　　227G070BAE51106J,227G2500BAE51106J,227GZ01PCE51106J,227GZ02PCE51106J

　　227GZ03PCE51106J,227GZ05PCE51106J,227G10CTAE51106J,227G20CTAE51106J

　　227G025PAE51106F,227G050PAE51106F,227G100PAE51106F,227G150PAE51106F

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　　227G3R4BAE51106F,227G007BAE51106F,227G1017BAE51106F,227G035BAE51106F

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　　227GZ03PCE51106F,227GZ05PCE51106F,227G10CTAE51106F,227G20CTAE51106F

　　Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式 “Block” 气体棒和面板设计，能够满足如今 300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅 11/8″，能节省宝贵的空间 ；结构坚固，是

　　要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量应用于·高纯度气体输送系统半导体过程工具的理想选择。

　　与其他采用大体积封头腔室的产品不同， Setra 227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造，且表面钝化抛

　　光至 5 Ra（大 7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实现无污染气体输送。227 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三种输出类型，精度达 ±0.25% FS 或 1.0% 读数。该型号可选符合工业标准的 11/8″带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力接口，另外还可使用多芯电缆、 4 针卡口接头和 9 针或 15 针

　　D-sub 接头进行电气连接。与 328 型 11/8″旋转显示屏配合使用时， 227 型可实现理想的压力测量和显示。零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还

　　可选择绝压、表压或复合压测量范围。

　　高性价比227 型压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技术，配有316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使电容减小。传感器将检测到电容变化，并基于砖利的电荷平衡原理，通过 Setra **的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流电信号。Setra 所有的超高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传感技术制造，能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。

　　表压、复合压、绝压可选PSI或BAR量程可选

　　Setra 的227型传感器专用于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block气体棒和面板。227型1-1/8"的占地面积优化了有价值的空间，其坚固的设计使其非常适合那些要求长期稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应用。

　　与其它具有较大死端空泡体积的设计不同，227型具有一个方便洗涤的小排量传感器舱。所有湿润部件均为**VAR316LSS材料，电解抛光至5Ra（10

　　max.）的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达的氦渗漏试验。可选择5VDC、10VDC或4-20mA输出，227型可提供±0.25%全量程或±1.0%的读数精度。227型配备了一个节省空间的11/8"C型密封件下安装接口底座，并可选择多芯电缆、4针bayonet连接器和一个9针或15针D型连接器用于电气终端。加上327型的1-1/8"可旋转显示器，该产品包达到了压力测量及显示的Ji致。该**设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节，可选择绝队压、表压或复合压。

　　Setra 获専利的可变电容传感器的特点在于一个316L不锈钢膜片和一个绝缘电Ji板。在传感器主体和电Ji板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微变圆，从而增加了电容。通过Setra **的定制集成电路检测电容值的变化，并利用获専利的电荷平衡原理将其转换成高度**的线性DC电信号。

　　etra 的整个超高纯系列均基于Setra 的被广泛认可的电容传感技术，高度**和

　　稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/射频干扰（EMI/RFI）。