引言

1、传感器结构原理

2、ＬＭＭＲＥ制作流

3、电极层工艺探索

• 3.1 导电胶带电极工艺１

• 3.2 导电胶带电极工艺２

• 3.3 一体固化电极工艺

4、温度对传感器性能的影响

5、结论