基于单晶硅的压阻效应压力传感器低气压输出异常分析
刘宝伟,王振廷,宁金明,陈宝成,王元委,毕宏宇
中国电子科技集团公司第四十九研究所
2024-10-09
某型号压阻式压力传感器在实际工程中出现低气压段输出偏高现象,结合该传感器的结构组成, 建立导致该现象的故障树,依据故障树逐一进行排除,采用外观检查、绝缘电阻测试、替换可能的故障部件等方式,确定故障出现在压力芯体中;进一步对芯体进行分析,通过显微镜、手捻法等方式方法,确定硅油中存在气泡导致传感器低气压段输出偏高,并对气泡中压力与输入压力之间的3类关系进行分析,得到输入压力小于气泡内部压力时,低气压段输出偏高故障现象的失效机理,并通过在空气环境下封装压力芯体,复现了故障现象,并建议增加对压力芯体进行低温低气压筛选试验。
  • 压力传感器
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年份: 2024年
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内容目录
  • 引言

  • 1、压力传感器组成与工作原理

  • 2、产品输出异常现象和特点

  • 3、故障树分析

    • 3.1 电气连接导致低气压输出异常(X1)

    • 3.2 调理电路组件异常(X2)

    • 3.3 压力敏感芯体异常(X3)

  • 4、机理分析

    • 4.1 影响机理

    • 4.2 故障复现

  • 5、结论

核心点推荐
  • 压阻效应;压力传感器;低气压输出;压力芯体;气泡