引言

1、研制与表征

2、封接工艺路线研究

• 2.1 工艺路线对封接气密性的影响

• 2.2 工艺路线对封接区空洞的影响

• 2.3 工艺路线对封接强度的影响

• 2.4 工艺路线对封接翘曲的影响

3、性能测试

• 3.1 长期零位漂移测试

• 3.2 精度测试

• 3.3 长期零位漂移的优化

4、结论