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引言
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1、传感器设计与仿真
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1.1 芯片设计与计算
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1.2 芯片仿真与分析
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2、封装结构设计与仿真
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2.1 封装结构设计
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2.2 动态性能仿真与分析
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3、传感器制作
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4、性能测试
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5、结论