SiC高温压力传感器动态性能研究
周行健 ,雷程 ,梁庭 ,钟明 ,李培仪
中北大学,中国航发四川燃气涡轮研究院
2024-10-10
面向航空发动机测试等恶劣复杂测试环境中动态压力测试需求,本文从芯片及封装结构设计、性能模拟仿真、器件制作工艺及传感器动态性能测试方面对碳化硅(SiC)高温压力传感器动态性能进行了系统研究。仿真结果表明:传感器频响为32. 4 kHz,上升时间为40 μs。测试结果表明:传感器的频响不低于5 kHz,上升时间为93 μs。此传感器具有动态响应频率高、冲击信号响应速度快特点,为航空发动机内脉动压力测量提供了技术支持。
  • 高温压力传感器
被引用: 485次
年份: 2024年
下载文档 2.00元
引用
分享
来源期刊
内容目录
  • 引言

  • 1、传感器设计与仿真

    • 1.1 芯片设计与计算

    • 1.2 芯片仿真与分析

  • 2、封装结构设计与仿真

    • 2.1 封装结构设计

    • 2.2 动态性能仿真与分析

  • 3、传感器制作

  • 4、性能测试

  • 5、结论

核心点推荐
  • 航空发动机;碳化硅;高温压力传感器;动态性能;脉动压力测量