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纳米光栅三轴 ＭＯＥＭＳ 陀螺设计与仿真分析
罗戴钟，金 丽 ，李孟委
中北大学 仪器与电子学院、中北大学 前沿交叉科学研究院
2024-06-26
设计了一种基于纳米光栅泰伯效应的三轴微光机电系统（ＭＯＥＭＳ）陀螺，详细阐述了纳米光栅三轴 ＭＯＥＭＳ陀螺的工作原理，建立了陀螺结构模型并分析其灵敏度。仿真结果表明：ｘ，ｙ，ｚ 轴陀螺结构灵敏度分别为 ４２． ７６，４３． ６３，７６． ７９ ｎｍ／（（°）·ｓ －１）。对双层光栅的衍射灵敏度仿真分析，得到双层光栅面内与离面模式下的衍射灵敏度分别为 ２９７． １，１５９． ７ Ｖ／ ｍｍ。最后，结合结构灵敏度与衍射灵敏度得到 ｘ，ｙ，ｚ轴陀螺的灵敏度大小分别为 ６． ８３，６． ９７，２２． ８１ ｍＶ／（（°）·ｓ －１）。
  • 纳米光栅
  • 微陀螺
  • 三轴
  • 单片集成
年份: 2023年
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来源期刊
内容目录

  • 引 言

  • 1、三轴光栅 ＭＯＥＭＳ 陀螺工作原理

  • 2、光栅 ＭＯＥＭＳ 陀螺仿真设计

    • 2.1光栅 ＭＯＥＭＳ 陀螺结构仿真

    • 2.2双层光栅光学效应仿真分析

  • 3、三轴 ＭＯＥＭＳ 陀螺灵敏度分析

    • 3.1ｚ 轴陀螺灵敏度分析

    • 3.2ｘ，ｙ 轴陀螺灵敏度分析

  • 4、结 论

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