高灵敏度电容式柔性压力传感器的设计与优化
吴其皓,廖鹏飞,茅 寅,戴隆超
扬州大学 机械工程学院
2024-06-29
设计了基于微结构化电极与复合介电层的柔性压力传感器。传感器以碳纳米管(CNTs)与聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为电极层材料,采用工艺简单且成本低的旋涂技术将砂纸作为模板并引入 CNTs 制备结构化电极,同时引入 CNTs 对介电层进行掺杂。分析了结构化电极与介电层掺杂不同质量分数 CNTs对传感器灵敏度的影响。通过 2 步优化使得传感器在具有 60 目砂纸构建的微结构电极,且 CNTs 掺杂质量分数为复合介电层的 2. 5 % 时,具有更高的灵敏度(0. 602 kPa -1),快速响应(100 ms)以及良好的循环稳定性(240 次)。
  • 压力传感器
  • 碳纳米管
  • 微结构电极
  • 高灵敏度
被引用: 3次
年份: 2023年
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内容目录
  • 引 言

  • 1、实验制备

    • 1.1实验原材料

    • 1.2柔性传感器的制备

  • 2、性能分析

    • 2.1结构化电极对传感器灵敏度的影响

    • 2.2MWCNTs 掺杂对传感器灵敏度的影响

    • 2.3传感信号放大与采集模块

  • 3、传感器的实际应用

  • 4、结 论

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