类金刚石碳膜导电材料设计与制备工艺技术研究
李涛,胡宇涵,徐冬,尹思淇,杨思远
中国电子科技集团公司第四十九研究所
2024-08-22
当传感器工作时,电刷与电阻体始终处于滑动接触和摩擦的状态,长期工作会导致涂覆的电阻薄膜磨损严重,直接影响传感器的使用寿命。为了提高传感器的可靠性,增强传感器电阻敏感元件的耐磨性,本文提出了一种类金刚石碳(DLC)膜导电材料设计与制备工艺技术。在氧化铝基片陶瓷上,采用双靶共溅射的工艺,通过精确地控制溅射条件,获得均匀且致密的类金刚石膜,在满足高精度与小型化要求的同时,增强异质材料长期工作的稳定性。
  • 传感器
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年份: 2024年
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内容目录
  • 引 言

  • 1、材料设计

    • 1.1 基底材料选择

    • 1.2 电阻体材料选择

  • 2、制备工艺

    • 2.1 电阻体制备工艺

    • 2.2 光刻工艺研究

  • 3、结束语

核心点推荐
  • 传感器
  • 工艺
  • 双靶共溅射
  • 类金刚石碳膜
  • 氧化铝陶瓷