产品介绍
绝对压力1000 mbar至5 x 10-9 mbar(=hPa),750 Torr至5 x 10-9 Torr,紧凑型VSM72 Pirani \/冷阴极组合传感器测量从大气到超高真空的绝对压力。智能型,微处理器驱动的Smartline传感器自动控制两个真空传感器在测量范围和开关点上的适当交互,以实现高精度。,优点,典型应用
特性
- 宽量程组合传感器
- 专利脉冲皮拉尼传感器具有扩展范围,允许冷阴极在较低压力下工作,并延长寿命
- 坚固的冷阴极传感器,对空气冲击不敏感
- 对数信号输出0-10V,RS485接口
- 可更换传感器头
- 优秀的点火行为
- 通过pirani和冷阴极传感器的单独气体类型校正系数校正压力读数
- 两个独立的干式继电器开关点
- 分析仪器
- 涂层设备和气相沉积
- 质谱法
- 过程工程
- 溅射的植物
- 真空炉
- 对数信号输出0-10V,rs485接口
- 溅射设备
VSM72 真空传感器技术参数
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规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
特 性 | ||
真空度范围 | 750 to 5.00E-9 torr (0.3937 to 29.92 in Hg vac) | |
环 境 | ||
工作温度 | 41 to 122 F (5 to 50 C) | |
更多技术信息 | ||
产品类型 | Sensor | |
测量压力类型 | Vacuum | |
更多规格 | ||
产品类别 | Vacuum Sensors |
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