Thyracont VSM72 真空传感器

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绝对压力1000 mbar至5 x 10-9 mbar(=hPa),750 Torr至5 x 10-9 Torr,紧凑型VSM72 Pirani \/冷阴极组合传感器测量从大气到超高真空的绝对压力。智能型,微处理器驱动的Smartline传感器自动控制两个真空传感器在测量范围和开关点上的适当交互,以实现高精度。,优点,典型应用

特性

  • 宽量程组合传感器
  • 专利脉冲皮拉尼传感器具有扩展范围,允许冷阴极在较低压力下工作,并延长寿命
  • 坚固的冷阴极传感器,对空气冲击不敏感
  • 对数信号输出0-10V,RS485接口
  • 可更换传感器头
  • 优秀的点火行为
  • 通过pirani和冷阴极传感器的单独气体类型校正系数校正压力读数
  • 两个独立的干式继电器开关点
  • 分析仪器
  • 涂层设备和气相沉积
  • 质谱法
  • 过程工程
  • 溅射的植物
  • 真空炉
  • 对数信号输出0-10V,rs485接口
  • 溅射设备

VSM72 真空传感器技术参数

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特 性
真空度范围 750 to 5.00E-9 torr (0.3937 to 29.92 in Hg vac)
环 境
工作温度 41 to 122 F (5 to 50 C)
更多技术信息
产品类型 Sensor
测量压力类型 Vacuum
更多规格
产品类别 Vacuum Sensors

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