沃迪科微电子 WMAP系列压阻式压力MEMS 压力传感芯片

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WMAP系列超低温漂MEMS压阻式压力芯片,它的可选压力测量范围为400KPa、2MPa、5MPa。针对压阻式压力芯片受温度影响大的问题,沃迪科采用了独有的“边界设计”,有效的降低了温度对器件的影响,很好的控制了热噪声,从而提高了产品的精度,满量程温漂≤±60 ppm/K@1mA,并且工作温度高达150℃。

芯片DIESIZE为1.6mm×1.6mm,good DIE数量约4700颗/wafer,量程和尺寸可接受客户定制。




  • 技术参数


Parameter@25

VDD=5V

Symbol

Typ.

Typ.

Typ.

Units

Operating   Pressure

Pr

0.4

2

5

MPa

Offset   Voltage

[min/typ/max]

V0

-10/0/10

-10/0/10

-10/0/10

mV

Temperature   Coefficient of offset

TCO

/±100

/±300

/±100

/±300

/±100

/±300

ppm/K

Temperature   Coefficient of Sensitivity

TCS

±2100

@5VDC

±2100

@5VDC

±60

@1mA

ppm/K

Nonlinearity

[typ/max]

L

±0.15

±0.15

±0.15

%FS

Sensitivity

[min/typ/max]

S

80/100/120

80/100/120

80/100/120

mV

Over   Pressure

Pov

5X

5X

5X


Burst   Pressure

Pburst

6X

6X

6X




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