Conax 康纳斯 Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 温度探头

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离子注入是制造半导体的关键步骤。高能注入可以加热晶圆并导致导致产量降低的问题。在注入过程中监测晶圆的温度,以确定所需的晶圆冷却量。小直径、快速响应、弹簧加载的热电偶(如上图所示)是监测离子注入工具温度的一种经济可靠的方法。

Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 温度探头技术参数

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物 理
探头配置 Straight Probe
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所用基础元件 Thermocouple
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传感器终端类型 Plug or Quick Connect
Probe Features Available as an Assembly
产品类别 Temperature Probes

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