产品介绍
离子注入是制造半导体的关键步骤。高能注入可以加热晶圆并导致导致产量降低的问题。在注入过程中监测晶圆的温度,以确定所需的晶圆冷却量。小直径、快速响应、弹簧加载的热电偶(如上图所示)是监测离子注入工具温度的一种经济可靠的方法。
Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 温度探头技术参数
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物 理 | ||
探头配置 | Straight Probe | |
更多技术信息 | ||
所用基础元件 | Thermocouple | |
更多规格 | ||
传感器终端类型 | Plug or Quick Connect | |
Probe Features | Available as an Assembly | |
产品类别 | Temperature Probes |
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