LumaSense Technologies, Inc. UV 400 and UVR 400 温度传感器

Lumassense UV 400和UVR 400系统是专门为GaN基MOCVD外延工艺开发的下一代温度传感器。2001年，Lumassense率先使用集成反射计（TR 100）的高温计，建立了使用950 nm和光纤进行主动发射率补偿的行业标准。我们在蓝宝石光管传感器和原位黑体校准源方面的进展提供了一个完整的温度测量解决方案。，UV 400和UVR 400现在允许直接测量晶圆表面温度，而不是传统的子部门/袋温。这种改进的测量方法使得对晶圆温度的控制更加精确，从而提高了成品率。，这些系统现在为LED生产工艺设定了新的标准，结果显示工艺温度和最终产品波长之间存在可靠的相关性。