Conax 康纳斯 Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 热电偶温度探头

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离子注入是半导体制造的关键一步。高能注入会导致晶片受热,导致产率下降。小直径、快速响应、弹簧负载热电偶(如上图所示)是监测离子注入工具温度的一种经济可靠的方法。

Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 热电偶温度探头技术参数

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特 性
特征 Available as an Assembly
连 接 & 显 示
传感器终端 Plug or Quick Connect
物 理
探头配置 Straight Probe
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产品类别 Thermocouple Temperature Probes

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