Chipsensing 知芯传感 S28 MEMS微镜

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产品介绍

​知芯S28微振镜是一款静电式单轴MEMS微镜。芯片工作在谐振状态,具有高可靠性、角度反馈精准、体积小的特点。有效镜面尺寸为2.8x3.8mm,表面镀金或铝,对可见光与红外光有较高的反射率。

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  • 静电驱动
  • 一维扭转
  • 镜面镀金属
  • 低功耗
  • 小体积

性能参数数值备注
镜面尺寸2.8x3.8 mm可咨询其他尺寸
微镜谐振频率f≈1300 Hz部分规格会不同
驱动频率2f
微镜驱动电压0~120V、方波
光学扫描角度±23°
存储温度-40~85 ℃
工作温度0~60 ℃
工作环境无尘、防静电
封装方式裸片、简易封装可定制

  • 显示投影
  • AR/VR
  • 3D测量
  • 自动驾驶

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