产品介绍
知芯S28微振镜是一款静电式单轴MEMS微镜。芯片工作在谐振状态,具有高可靠性、角度反馈精准、体积小的特点。有效镜面尺寸为2.8x3.8mm,表面镀金或铝,对可见光与红外光有较高的反射率。
- 静电驱动
- 一维扭转
- 镜面镀金属
- 低功耗
- 小体积
性能参数 | 数值 | 备注 |
镜面尺寸 | 2.8x3.8 mm | 可咨询其他尺寸 |
微镜谐振频率 | f≈1300 Hz | 部分规格会不同 |
驱动频率 | 2f | |
微镜驱动电压 | 0~120V、方波 | |
光学扫描角度 | ±23° | |
存储温度 | -40~85 ℃ | |
工作温度 | 0~60 ℃ | |
工作环境 | 无尘、防静电 | |
封装方式 | 裸片、简易封装 | 可定制 |
- 显示投影
- AR/VR
- 3D测量
- 自动驾驶
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