产品介绍
外部压电阀的精确控制,满量程(TEOS等效值)为6.4 g\/min,此热液流量控制器(LFC)设计用于MSP‘PE’系列涡轮汽化器。2940 LFC由一个热传感器组成,用于感测液体的质量流量并产生电压来操作‘PE’系列涡轮汽化器中的压电控制阀。2940的特点是响应时间快,这使得它是在ALD或短脉冲CVD中经常使用的短时间蒸汽脉冲的好选择。2940具有分区‘PID’设置和改进控制的自学习功能。,型号2940液体流量控制器FC3全刻度TEOS Equiv(g\/min)32全刻度去离子水(g\/min)5.0耐压(bar)1最大压降(mbar)1柱内径(mm)1.8电源@24V(W)48端口连接器1\/8英寸外螺纹VCR配件工作温度(ºC)0–50工作湿度(%)20–80非冷凝材料石英玻璃\/PEEK\/SS316\/Viton\/Silicon RTV尺寸(mm\/inches)127 x 152 x 25\/5 x 6 x 1重量(kg\/lb)0.45\/1.0最佳存储温度(ºC)-10–60安装槽四个0.15英寸宽的插槽在4.75英寸x 0.75英寸模式上通信引脚输入功能1+24V2设定点(0–5V)3监视器(0–5V)4 RXD5 TXD6,7,8,9接地
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