Brooks Instrument 布鲁克斯 GF135 流量控制器

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Keep critical flow processes on-target and maximize throughput with the GF135 Advanced Diagnostics Pressure Transient Insensitive (PTI) mass flow controller. The world’s first smart mass flow controller is a true game changer: It performs integral rate-of-decay flow measurement without stopping the flow of process gas. It allows semiconductor manufacturers to verify process gas accuracy, check valve leak-by and monitor sensor stability in real time without removing the flow controller from the gas line.","Combined with an all-metal wetted flow path, ultra-fast settling times and industry-leading process gas accuracy, the GF135 PTI MFC has the potential to transform the productivity and throughput rates for a wide range of deposition processes.","Features","Benefits","Applications

特性

  • Long-term zero stability of <±0.5% full scale per year
  • 超快沉降时间:<300 ms-<400 ms
  • 全尺寸流速:3 sccm到5 slm
  • Ultra-high purity flow path - 4µ inch Ra surface finish
  • 基于衰减率(rod)技术的嵌入式实时流量误差检测与趋势分析
  • 通过通过实际气体测试优化的先进气体模型,提高工艺气体的精确度,提高三倍
  • 第三代压力瞬变不敏感(PTI)技术
  • 高可视性,电子旋转液晶显示屏提供流量,温度,压力和网络地址的本地指示
  • DeviceNet™, RS-485 and analog interfaces
  • 实时流量误差检测能够更快地调整流量偏差,并支持晶圆产量的提高
  • 传感器稳定性跟踪通过支持预测维护来提高系统的正常运行时间
  • 通过跟踪阀片泄漏有助于最大限度地减少泄漏
  • 增强的工艺气体精度满足10nm工艺气体化学控制的挑战
  • 市场领先的流量稳定时间减少了非生产流量稳定步骤,支持先进的3d设备加工
  • 增强压力不敏感度,提供卓越的工艺气体控制,以增强蚀刻和沉积控制
  • Corrosion-resistant Hastelloy® sensor provides unmatched long-term sensor stability ensuring maximum yield and throughput
  • drop-in替代表面安装和vcr mfcs是一个容易升级的关键气体管道的现有系统
  • 半导体先进蚀刻工具
  • 超快的沉降时间:<300 ms - <400 ms
  • 第三代压力瞬态不敏感(pti)技术
  • 高可见度,电子可旋转液晶显示,提供流量,温度,压力和网络地址的本地指示
  • 通过跟踪阀门泄漏有助于将第一晶片效应降至最低
  • 市场领先的流量稳定时间减少了非生产性流量稳定步骤,支持先进的3D设备处理

GF135 流量控制器技术参数

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性 能
精度 1.0 ±% FS
特 性
测量介质 Gas
控制信号输出 Analog Voltage; Serial / Digital; Network / Fieldbus Output; RS485, DeviceNet™
控制输出数量 1 outputs
输入数量 1 inputs
连 接 & 显 示
用户接口 Computer Programmable; Network
更多规格
通信接口 RS485, DeviceNet™
产品类别 Flow Controllers
标准和合规性 RoHS; Other; EC Directive 2004/108/EC, CE: EN61326-1: 2006, REACH Directive EC 1907/2006

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