HORIBA Instruments, Inc. SEC-8000 F&D&E Series 质量流量计和控制器

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SEC-8000F\/D\/E系列可在高温环境下工作,从15℃到120℃,用于各种任务,包括半导体和化合物半导体加工。,请在此处查看我们的MFC比较图表。

特性

  • Equipped with digital facility: high accuracy- ±1.0% S.P.
  • 高速响应
  • 超净
  • RoHS符合性
  • 超干净
  • rohs符合性

SEC-8000 F&D&E Series 质量流量计和控制器技术参数

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性 能
质量流量 1.38E-5 to 0.4129 lbs/min (3.75E-7 to 0.0112 metric tons/hr)
特 性
工作压力 43.51 psi (30.62 m H2O)
介质类型 Gas
特征 Controller Functions
连 接 & 显 示
接口选项 Serial / Digital; Network / Fieldbus
环 境
工作温度 59 to 248 F (15 to 120 C)
物 理
终端配件 VCO® / VCR®
管道直径 0.25 to 0.75 inch (6.35 to 19.05 mm)
安装 In-line
更多技术信息
仪表形式 Mass Flow Meter
更多规格
产品类别 Mass Flow Meters and Controllers
测量技术 Thermal

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