HORIBA Instruments, Inc. SEC-Z500X 质量流量计和控制器

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这是HORIBA最畅销的数字质量流量控制器模型。它具有多量程/多气体功能,使用户能够在现场快速方便地改变气体类型或全尺寸流量。高精度+/-1.0%S.P、压电致动器阀、高速响应和全金属材质,适用于提高工艺产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT®通信都可用。,请在此处查看我们的MFC比较图,质量流量控制器SEC-Z500X适用于各种应用以及半导体制造。阅读我们的案例研究,了解SEC-Z500X如何改善国家海洋和大气管理局的结果:案例研究

SEC-Z500X 质量流量计和控制器技术参数

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性 能
质量流量 1.38E-6 to 1.38 lbs/min (3.75E-8 to 0.0375 metric tons/hr)
特 性
工作压力 43.51 psi (30.62 m H2O)
介质类型 Gas
特征 Controller Functions
电 气
电气输出 Analog Current
连 接 & 显 示
接口选项 Serial / Digital ; Network / Fieldbus
环 境
工作温度 41 to 122 F (5 to 50 C)
物 理
终端配件 VCO® / VCR®
管道直径 0.25 to 0.50 inch (6.35 to 12.7 mm)
安装 In-line
更多技术信息
仪表形式 Mass Flow Meter
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产品类别 Mass Flow Meters and Controllers
测量技术 Thermal

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